质量流量控制器

更新时间：2023-06-06

简要描述：

质量流量控制器，Z小控制量程低至0-0.5SCCM，采用层流差压原理，可本地显示温度，绝压，质量流量和体积流量，耐压1MPa，低压差条件下亦可使用。内置130种气体，大大节约用户成本。反应时间快。

免费咨询：86-10-87241391

质量流量控制器是一种广泛应用于工业生产和科学实验中的流量控制装置。与传统的体积流量计不同，可以精确地测量气体或液体的质量流量而不受温度或压力变化的干扰，能够提高流程控制的精确度和稳定性，使得生产过程更加可靠和高效。

一、产品系列

MC标准系列

控制响应快、稳定的流量控制器。

MCR大流量系列

精确控制大流量(50-3000slpm)气体。艾里卡特.R系列阀门为无摩擦阀门，可精密控制大流量的气体流量，特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。

MCW/MCRW低压损系列

大限度减小压损对系统的影响，满量程压损低仅为4mbar(0.06psid)；艾里卡特.Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力，是航空航天、环境气体分析等应用的选择；大量程：0-500slpm。

MCS/MCRS耐腐蚀系列

所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。

MCE/MCV半导体行业系列

可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器，可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀，专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES/MCVS。大量程：0-20slpm。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。

二、质量流量控制器常用选配项

.后置阀门，优化真空及背压应用的控制

.批量控制模式，依靠快速的阀门响应来分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

.CSA认证1类2区/ATEX认证1类2区允许设备用于危险环境

.9针或15针D-Sub等连接接口可选

.通讯模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可选

.彩色背光显示屏适用于光线不足的场合

三、性能参数

指标	MFC
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....20SLPM
精度	±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程）
重复性	±0.2%
量程比	200:1
响应时间	100ms
标准状态(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
温度范围	-10～50
零点漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
湿度范围	0-100%
测量流量范围	128％（过流率）
大耐压	145psi
输出信号（数字）	质量流量、体积流量、压力和温度
数字信号可选	RS485，Modbus，Profibus
输出信号（模拟）	质量流量、体积流量、压力和温度
模拟信号可选	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
电气连接	8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定）
供电电压	7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC）
供电电流	0.035A（4-20mA输出时为：0.055A）